七、清潔生產(chǎn)及節(jié)水分析
目前我國(guó)集成電路生產(chǎn)已具備了——定的規(guī)模和基礎(chǔ)，初步形成了從產(chǎn)品設(shè)計(jì)、前工序到后封裝的體系輪廓。目前國(guó)內(nèi)主要有7個(gè)；芯片制造骨干企業(yè)，國(guó)內(nèi)芯片生產(chǎn)企業(yè)總的講規(guī)模都不算太大，且產(chǎn)品工藝與國(guó)際先進(jìn)水平有一定的距離。本項(xiàng)目擬建設(shè)8英寸(20．32cm)0．35—0．18ltm，預(yù)計(jì)量產(chǎn)時(shí)月投片30000片：12英寸（30．48cm)先進(jìn)制程線，0．13—0．09gm，月投產(chǎn)3000片。因此，無論是產(chǎn)品工藝還是生產(chǎn)規(guī)模都將成為國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)企業(yè)。
在擬建項(xiàng)目生產(chǎn)技術(shù)路線和生產(chǎn)工藝是在國(guó)際上較為先進(jìn)的，技術(shù)水平上符合集—成電路加工制作清潔生產(chǎn)的要求。本項(xiàng)目努力提高資源和能源的綜合利用能力，水資源綜合利用取得一定的效果，部分廢水回用，廢物減量化，“三廢”治理措施合理可行。因此，基本上符合清潔生產(chǎn)的要求，但水資源綜合利用仍有潛力可挖。
八、本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)的結(jié)論與環(huán)評(píng)體會(huì)
(一)環(huán)評(píng)報(bào)告結(jié)論
中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目(一期)建在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)內(nèi)，符合國(guó)家信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃和政策，符合區(qū)域功能區(qū)的發(fā)展規(guī)劃和產(chǎn)業(yè)布局，本項(xiàng)目的建設(shè)性質(zhì)集中體現(xiàn)了北京市發(fā)展高新技術(shù)企業(yè)、振興制造業(yè)的發(fā)展方向，也與北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)環(huán)境保護(hù)規(guī)劃基本相符。
首先應(yīng)該指出的是：芯片制造業(yè)屬于高新技術(shù)密集型生產(chǎn)線項(xiàng)目，本項(xiàng)目全部技術(shù)和生產(chǎn)工藝及治理措施全部由外商引進(jìn)，其生產(chǎn)工藝具有國(guó)際先進(jìn)性。但也應(yīng)看到，作為企業(yè)依據(jù)市場(chǎng)需求轉(zhuǎn)產(chǎn)、改產(chǎn)容易，而生產(chǎn)不同規(guī)格、數(shù)量的芯片，其生產(chǎn)工藝、原材料使用、污染物排放量和源強(qiáng)、用排水量等是不一樣的。本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)的依據(jù)是建設(shè)單位提交8英寸(20．32cm)0．35bO．18gm，月投片量為30000片的芯片生產(chǎn)線和12英寸(30．48cm)先進(jìn)制程線，o．13~0．09gm，月投片量為3000片的初步設(shè)計(jì)資料，通過物料詳細(xì)核算、現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)、類比調(diào)查進(jìn)行評(píng)價(jià)而得出結(jié)論的。
本工程在環(huán)保設(shè)計(jì)中采用了國(guó)內(nèi)、外先進(jìn)、可行的治理“三廢”措施，以確保實(shí)現(xiàn)清潔文明生產(chǎn)，各項(xiàng)污染物能夠達(dá)標(biāo)排放。
環(huán)境影響與預(yù)測(cè)表明，本工程建成后對(duì)當(dāng)?shù)卮髿猸h(huán)境影響較?。粩M建工程排水由開發(fā)區(qū)污水處理廠接納是可行和可靠的，建設(shè)單位用水也能夠得到保證供應(yīng)：噪聲對(duì)工業(yè)區(qū)劃定的三類噪聲功能區(qū)的環(huán)境影響較小。
本次環(huán)境評(píng)價(jià)提出建設(shè)單位會(huì)同北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)相關(guān)單位在本項(xiàng)目周邊50m內(nèi)不應(yīng)再規(guī)劃布置環(huán)境敏感建筑，并在廠界周邊50m范圍內(nèi)，密集種植高大喬木與低矮灌木、草地相結(jié)合的封閉綠化隔離帶，一方面是非常好的綠化措施，同時(shí)也是防范環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)與環(huán)境安全的最簡(jiǎn)捷、有效措施。
經(jīng)詳細(xì)論證，從環(huán)保角度考慮，本項(xiàng)目在認(rèn)真落實(shí)并保證環(huán)保資金的投入，切實(shí)落實(shí)各專題環(huán)保治理措施和防范措施、解決好相關(guān)環(huán)境問題，在完成環(huán)境管理機(jī)構(gòu)的環(huán)境管理要求的前提下，在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)41號(hào)地塊內(nèi)建設(shè)上是可行的。
建議開發(fā)區(qū)應(yīng)慎重考慮水資源問題，在北京嚴(yán)重缺水的情況下，加快開展區(qū)域規(guī)劃的環(huán)評(píng)工作，進(jìn)行水資源評(píng)價(jià)，研究水資源的綜合規(guī)劃與綜合利用。目前開發(fā)區(qū)水源為城市水廠的單線供水，建議開發(fā)區(qū)盡快落實(shí)開拓第二條輸水管線的方案，落實(shí)輸入水源與水量，以促進(jìn)區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展。長(zhǎng)期以來，用水需求已經(jīng)超過了當(dāng)?shù)厮Y源的承載能力和環(huán)境容量，造成大部分地區(qū)地下水超采，除大興區(qū)外，全市地下水埋深下降1～5m。北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)還沒有完成環(huán)境管理機(jī)構(gòu)與政府部門尚未給出區(qū)域總體的給排水計(jì)劃與用量分配計(jì)劃。目前開發(fā)去實(shí)際日消耗水量約3萬m，。本項(xiàng)目日用新鮮水量為4500m3，約占全市水資源日消耗量的0．3％，而政府機(jī)構(gòu)給出的本項(xiàng)目一期用水指標(biāo)為7 500m，，顯示出政府對(duì)于本項(xiàng)目的支持力度，因本項(xiàng)目還有進(jìn)行二期項(xiàng)目升級(jí)的計(jì)劃，用水量將更大。本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)認(rèn)為建設(shè)單位與開發(fā)區(qū)管理機(jī)構(gòu)應(yīng)該進(jìn)行區(qū)域水資源與水綜合利用評(píng)價(jià)。滿足區(qū)域總體用水功能與經(jīng)濟(jì)發(fā)展的需要。特別是本項(xiàng)目周邊還有用水量更大的京東方液晶項(xiàng)目，本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)認(rèn)為在僅以北京第九水廠作為供水水源，而第十水廠尚未建立，地下水已經(jīng)沒有大規(guī)模開采水量，南水北調(diào)尚未實(shí)施的前提F，單純從環(huán)境保護(hù)考慮，本次環(huán)境評(píng)價(jià)建議開發(fā)區(qū)應(yīng)慎重考慮水資源問題，在北京嚴(yán)重缺水的情況下，審慎引進(jìn)高耗水類的項(xiàng)目。但本項(xiàng)目已經(jīng)取得用水指標(biāo)，屬于符合經(jīng)核定的用水指標(biāo)之列。
(二)本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)的：工作體會(huì)
1．環(huán)評(píng)技術(shù)路線
本評(píng)價(jià)核心問題是需要從以下幾個(gè)方面?zhèn)戎丶右杂懻摚涸u(píng)價(jià)叵環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀即區(qū)域的環(huán)境承載力；結(jié)合北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)總體規(guī)劃(亦莊衛(wèi)星城總體規(guī)劃），論證廠址選擇的環(huán)境可行性和總圖布置的合理性；從水資源的供給和利用等方面論證項(xiàng)目選址的可行性，進(jìn)一步分析并提出節(jié)水途徑和措施：擬建項(xiàng)目的清潔生產(chǎn)水平；對(duì)有毒危險(xiǎn)品的儲(chǔ)運(yùn)及使用進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)分析；污染治理措施；污染物達(dá)標(biāo)排放分析等7個(gè)方面進(jìn)行全面闡述。以實(shí)現(xiàn)北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和環(huán)境效益協(xié)調(diào)發(fā)展為最終日的。
2．工作難點(diǎn)
本項(xiàng)目屬于高新技術(shù)行業(yè)，其特點(diǎn)是技術(shù)新、工藝復(fù)雜、環(huán)境污染源類比調(diào)查困難，沒有可以借鑒的歷史資料及監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。因此工作重點(diǎn)要放在工程分析與工程污染源評(píng)價(jià)上。只有通過對(duì)項(xiàng)目生產(chǎn)工藝、工程污染源的詳細(xì)調(diào)查與分析，通過詳細(xì)準(zhǔn)確的物料衡算，元素平衡，才能較為準(zhǔn)確的預(yù)測(cè)項(xiàng)目投產(chǎn)后對(duì)環(huán)境可能造成的影響程度、范圍以及當(dāng)?shù)丨h(huán)境可能發(fā)生的變化狀況，并在此工作基礎(chǔ)上，才能對(duì)擬建項(xiàng)目建設(shè)的可行性從環(huán)境角度做出結(jié)論。同時(shí)才能提出相應(yīng)的環(huán)保治理措施與建議，為領(lǐng)導(dǎo)的決策、設(shè)計(jì)部門的設(shè)計(jì)和建設(shè)單位的管理提供依據(jù)。
由于涉及高新技術(shù)行業(yè)的環(huán)境影響評(píng)價(jià)，建設(shè)單位總是以各種理由對(duì)于建設(shè)項(xiàng)目可能產(chǎn)生的環(huán)境問題進(jìn)行敷衍，通過類比調(diào)查和物料平衡及元素平衡是有效的解決方案。另外，電子行業(yè)并不是傳統(tǒng)輕污染行業(yè)，電子產(chǎn)品的制造正向著化學(xué)信息晶的方向發(fā)展，其特點(diǎn)是原料消耗量大、種類多、輔助工藝多，用水量大。本次訐榆體會(huì)就是要作好環(huán)評(píng)工作，一定要結(jié)合芯片生產(chǎn)項(xiàng)目的特點(diǎn)和環(huán)境敏感問題，及早發(fā)現(xiàn)該項(xiàng)目可能發(fā)生的環(huán)境問題，提出解決這些環(huán)境問題的途徑，要進(jìn)行詳細(xì)的清潔生產(chǎn)論證，給出環(huán)境監(jiān)管和治理措施方案。
3．標(biāo)準(zhǔn)引用
本項(xiàng)目為半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)項(xiàng)目，主要生產(chǎn)設(shè)備全部由國(guó)外引進(jìn)，主要引進(jìn)地是日本、美國(guó)、荷蘭，其生產(chǎn)過程的氣態(tài)主要污染物較多，經(jīng)污染因子識(shí)別與環(huán)評(píng)大綱專家討論會(huì)意見，從其對(duì)環(huán)境影響程度和危害性看，主要有H2S04霧、NOx、氟化物、HCl、C12＼非甲烷總烴、氨、H3P04、Sill4、PH，、AsH30本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)認(rèn)為，目前半導(dǎo)體芯片行業(yè)在我國(guó)與世界各地均是新興行業(yè)，其污染物種類較多，但相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)尚未界定清晰，我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)部也正在制定相應(yīng)的排放規(guī)定、技術(shù)導(dǎo)則和排放標(biāo)準(zhǔn)，作為本項(xiàng)目來說，在我國(guó)沒有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)之前，部分污染物排放限值執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 16297—1996)中的“最局允許排放濃度和允許排放速率”新污染源二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GBl4554--93)中氨的限值，特征污染物沒有查詢到設(shè)備引進(jìn)地的排放標(biāo)準(zhǔn)。PH3和AsH3執(zhí)行國(guó)家《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(TJ 36—79)車間空氣中有害物質(zhì)的容許濃度0．3mg／m3，H3P04執(zhí)行前蘇聯(lián)車間衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)1．0mg／m3，SiH4執(zhí)仃歐盟中荷蘭的排放導(dǎo)則中的相關(guān)規(guī)定，具體指標(biāo)見表6。參考執(zhí)行上述推薦控制標(biāo)準(zhǔn)是可行的，在我國(guó)制定有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或其他相應(yīng)污染物控制標(biāo)準(zhǔn)之后，建設(shè)單位應(yīng)遵照?qǐng)?zhí)行。
目前我國(guó)集成電路生產(chǎn)已具備了——定的規(guī)模和基礎(chǔ)，初步形成了從產(chǎn)品設(shè)計(jì)、前工序到后封裝的體系輪廓。目前國(guó)內(nèi)主要有7個(gè)；芯片制造骨干企業(yè)，國(guó)內(nèi)芯片生產(chǎn)企業(yè)總的講規(guī)模都不算太大，且產(chǎn)品工藝與國(guó)際先進(jìn)水平有一定的距離。本項(xiàng)目擬建設(shè)8英寸(20．32cm)0．35—0．18ltm，預(yù)計(jì)量產(chǎn)時(shí)月投片30000片：12英寸（30．48cm)先進(jìn)制程線，0．13—0．09gm，月投產(chǎn)3000片。因此，無論是產(chǎn)品工藝還是生產(chǎn)規(guī)模都將成為國(guó)內(nèi)最先進(jìn)的芯片生產(chǎn)企業(yè)。
在擬建項(xiàng)目生產(chǎn)技術(shù)路線和生產(chǎn)工藝是在國(guó)際上較為先進(jìn)的，技術(shù)水平上符合集—成電路加工制作清潔生產(chǎn)的要求。本項(xiàng)目努力提高資源和能源的綜合利用能力，水資源綜合利用取得一定的效果，部分廢水回用，廢物減量化，“三廢”治理措施合理可行。因此，基本上符合清潔生產(chǎn)的要求，但水資源綜合利用仍有潛力可挖。
八、本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)的結(jié)論與環(huán)評(píng)體會(huì)
(一)環(huán)評(píng)報(bào)告結(jié)論
中芯國(guó)際集成電路制造(北京)有限公司超大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線項(xiàng)目(一期)建在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)內(nèi)，符合國(guó)家信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃和政策，符合區(qū)域功能區(qū)的發(fā)展規(guī)劃和產(chǎn)業(yè)布局，本項(xiàng)目的建設(shè)性質(zhì)集中體現(xiàn)了北京市發(fā)展高新技術(shù)企業(yè)、振興制造業(yè)的發(fā)展方向，也與北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)環(huán)境保護(hù)規(guī)劃基本相符。
首先應(yīng)該指出的是：芯片制造業(yè)屬于高新技術(shù)密集型生產(chǎn)線項(xiàng)目，本項(xiàng)目全部技術(shù)和生產(chǎn)工藝及治理措施全部由外商引進(jìn)，其生產(chǎn)工藝具有國(guó)際先進(jìn)性。但也應(yīng)看到，作為企業(yè)依據(jù)市場(chǎng)需求轉(zhuǎn)產(chǎn)、改產(chǎn)容易，而生產(chǎn)不同規(guī)格、數(shù)量的芯片，其生產(chǎn)工藝、原材料使用、污染物排放量和源強(qiáng)、用排水量等是不一樣的。本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)的依據(jù)是建設(shè)單位提交8英寸(20．32cm)0．35bO．18gm，月投片量為30000片的芯片生產(chǎn)線和12英寸(30．48cm)先進(jìn)制程線，o．13~0．09gm，月投片量為3000片的初步設(shè)計(jì)資料，通過物料詳細(xì)核算、現(xiàn)場(chǎng)監(jiān)測(cè)、類比調(diào)查進(jìn)行評(píng)價(jià)而得出結(jié)論的。
本工程在環(huán)保設(shè)計(jì)中采用了國(guó)內(nèi)、外先進(jìn)、可行的治理“三廢”措施，以確保實(shí)現(xiàn)清潔文明生產(chǎn)，各項(xiàng)污染物能夠達(dá)標(biāo)排放。
環(huán)境影響與預(yù)測(cè)表明，本工程建成后對(duì)當(dāng)?shù)卮髿猸h(huán)境影響較?。粩M建工程排水由開發(fā)區(qū)污水處理廠接納是可行和可靠的，建設(shè)單位用水也能夠得到保證供應(yīng)：噪聲對(duì)工業(yè)區(qū)劃定的三類噪聲功能區(qū)的環(huán)境影響較小。
本次環(huán)境評(píng)價(jià)提出建設(shè)單位會(huì)同北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)相關(guān)單位在本項(xiàng)目周邊50m內(nèi)不應(yīng)再規(guī)劃布置環(huán)境敏感建筑，并在廠界周邊50m范圍內(nèi)，密集種植高大喬木與低矮灌木、草地相結(jié)合的封閉綠化隔離帶，一方面是非常好的綠化措施，同時(shí)也是防范環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)與環(huán)境安全的最簡(jiǎn)捷、有效措施。
經(jīng)詳細(xì)論證，從環(huán)保角度考慮，本項(xiàng)目在認(rèn)真落實(shí)并保證環(huán)保資金的投入，切實(shí)落實(shí)各專題環(huán)保治理措施和防范措施、解決好相關(guān)環(huán)境問題，在完成環(huán)境管理機(jī)構(gòu)的環(huán)境管理要求的前提下，在北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)41號(hào)地塊內(nèi)建設(shè)上是可行的。
建議開發(fā)區(qū)應(yīng)慎重考慮水資源問題，在北京嚴(yán)重缺水的情況下，加快開展區(qū)域規(guī)劃的環(huán)評(píng)工作，進(jìn)行水資源評(píng)價(jià)，研究水資源的綜合規(guī)劃與綜合利用。目前開發(fā)區(qū)水源為城市水廠的單線供水，建議開發(fā)區(qū)盡快落實(shí)開拓第二條輸水管線的方案，落實(shí)輸入水源與水量，以促進(jìn)區(qū)域經(jīng)濟(jì)發(fā)展。長(zhǎng)期以來，用水需求已經(jīng)超過了當(dāng)?shù)厮Y源的承載能力和環(huán)境容量，造成大部分地區(qū)地下水超采，除大興區(qū)外，全市地下水埋深下降1～5m。北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的總體規(guī)劃環(huán)境影響評(píng)價(jià)還沒有完成環(huán)境管理機(jī)構(gòu)與政府部門尚未給出區(qū)域總體的給排水計(jì)劃與用量分配計(jì)劃。目前開發(fā)去實(shí)際日消耗水量約3萬m，。本項(xiàng)目日用新鮮水量為4500m3，約占全市水資源日消耗量的0．3％，而政府機(jī)構(gòu)給出的本項(xiàng)目一期用水指標(biāo)為7 500m，，顯示出政府對(duì)于本項(xiàng)目的支持力度，因本項(xiàng)目還有進(jìn)行二期項(xiàng)目升級(jí)的計(jì)劃，用水量將更大。本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)認(rèn)為建設(shè)單位與開發(fā)區(qū)管理機(jī)構(gòu)應(yīng)該進(jìn)行區(qū)域水資源與水綜合利用評(píng)價(jià)。滿足區(qū)域總體用水功能與經(jīng)濟(jì)發(fā)展的需要。特別是本項(xiàng)目周邊還有用水量更大的京東方液晶項(xiàng)目，本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)認(rèn)為在僅以北京第九水廠作為供水水源，而第十水廠尚未建立，地下水已經(jīng)沒有大規(guī)模開采水量，南水北調(diào)尚未實(shí)施的前提F，單純從環(huán)境保護(hù)考慮，本次環(huán)境評(píng)價(jià)建議開發(fā)區(qū)應(yīng)慎重考慮水資源問題，在北京嚴(yán)重缺水的情況下，審慎引進(jìn)高耗水類的項(xiàng)目。但本項(xiàng)目已經(jīng)取得用水指標(biāo)，屬于符合經(jīng)核定的用水指標(biāo)之列。
(二)本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)的：工作體會(huì)
1．環(huán)評(píng)技術(shù)路線
本評(píng)價(jià)核心問題是需要從以下幾個(gè)方面?zhèn)戎丶右杂懻摚涸u(píng)價(jià)叵環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀即區(qū)域的環(huán)境承載力；結(jié)合北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)總體規(guī)劃(亦莊衛(wèi)星城總體規(guī)劃），論證廠址選擇的環(huán)境可行性和總圖布置的合理性；從水資源的供給和利用等方面論證項(xiàng)目選址的可行性，進(jìn)一步分析并提出節(jié)水途徑和措施：擬建項(xiàng)目的清潔生產(chǎn)水平；對(duì)有毒危險(xiǎn)品的儲(chǔ)運(yùn)及使用進(jìn)行風(fēng)險(xiǎn)分析；污染治理措施；污染物達(dá)標(biāo)排放分析等7個(gè)方面進(jìn)行全面闡述。以實(shí)現(xiàn)北京市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和環(huán)境效益協(xié)調(diào)發(fā)展為最終日的。
2．工作難點(diǎn)
本項(xiàng)目屬于高新技術(shù)行業(yè)，其特點(diǎn)是技術(shù)新、工藝復(fù)雜、環(huán)境污染源類比調(diào)查困難，沒有可以借鑒的歷史資料及監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)。因此工作重點(diǎn)要放在工程分析與工程污染源評(píng)價(jià)上。只有通過對(duì)項(xiàng)目生產(chǎn)工藝、工程污染源的詳細(xì)調(diào)查與分析，通過詳細(xì)準(zhǔn)確的物料衡算，元素平衡，才能較為準(zhǔn)確的預(yù)測(cè)項(xiàng)目投產(chǎn)后對(duì)環(huán)境可能造成的影響程度、范圍以及當(dāng)?shù)丨h(huán)境可能發(fā)生的變化狀況，并在此工作基礎(chǔ)上，才能對(duì)擬建項(xiàng)目建設(shè)的可行性從環(huán)境角度做出結(jié)論。同時(shí)才能提出相應(yīng)的環(huán)保治理措施與建議，為領(lǐng)導(dǎo)的決策、設(shè)計(jì)部門的設(shè)計(jì)和建設(shè)單位的管理提供依據(jù)。
由于涉及高新技術(shù)行業(yè)的環(huán)境影響評(píng)價(jià)，建設(shè)單位總是以各種理由對(duì)于建設(shè)項(xiàng)目可能產(chǎn)生的環(huán)境問題進(jìn)行敷衍，通過類比調(diào)查和物料平衡及元素平衡是有效的解決方案。另外，電子行業(yè)并不是傳統(tǒng)輕污染行業(yè)，電子產(chǎn)品的制造正向著化學(xué)信息晶的方向發(fā)展，其特點(diǎn)是原料消耗量大、種類多、輔助工藝多，用水量大。本次訐榆體會(huì)就是要作好環(huán)評(píng)工作，一定要結(jié)合芯片生產(chǎn)項(xiàng)目的特點(diǎn)和環(huán)境敏感問題，及早發(fā)現(xiàn)該項(xiàng)目可能發(fā)生的環(huán)境問題，提出解決這些環(huán)境問題的途徑，要進(jìn)行詳細(xì)的清潔生產(chǎn)論證，給出環(huán)境監(jiān)管和治理措施方案。
3．標(biāo)準(zhǔn)引用
本項(xiàng)目為半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)項(xiàng)目，主要生產(chǎn)設(shè)備全部由國(guó)外引進(jìn)，主要引進(jìn)地是日本、美國(guó)、荷蘭，其生產(chǎn)過程的氣態(tài)主要污染物較多，經(jīng)污染因子識(shí)別與環(huán)評(píng)大綱專家討論會(huì)意見，從其對(duì)環(huán)境影響程度和危害性看，主要有H2S04霧、NOx、氟化物、HCl、C12＼非甲烷總烴、氨、H3P04、Sill4、PH，、AsH30本次環(huán)境影響評(píng)價(jià)認(rèn)為，目前半導(dǎo)體芯片行業(yè)在我國(guó)與世界各地均是新興行業(yè)，其污染物種類較多，但相應(yīng)的排放標(biāo)準(zhǔn)尚未界定清晰，我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)部也正在制定相應(yīng)的排放規(guī)定、技術(shù)導(dǎo)則和排放標(biāo)準(zhǔn)，作為本項(xiàng)目來說，在我國(guó)沒有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)之前，部分污染物排放限值執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB 16297—1996)中的“最局允許排放濃度和允許排放速率”新污染源二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)，氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GBl4554--93)中氨的限值，特征污染物沒有查詢到設(shè)備引進(jìn)地的排放標(biāo)準(zhǔn)。PH3和AsH3執(zhí)行國(guó)家《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》(TJ 36—79)車間空氣中有害物質(zhì)的容許濃度0．3mg／m3，H3P04執(zhí)行前蘇聯(lián)車間衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)1．0mg／m3，SiH4執(zhí)仃歐盟中荷蘭的排放導(dǎo)則中的相關(guān)規(guī)定，具體指標(biāo)見表6。參考執(zhí)行上述推薦控制標(biāo)準(zhǔn)是可行的，在我國(guó)制定有行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)或其他相應(yīng)污染物控制標(biāo)準(zhǔn)之后，建設(shè)單位應(yīng)遵照?qǐng)?zhí)行。