全國微電子學(xué)領(lǐng)域首個重點學(xué)科點
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月，第一任所長由全國半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅擔(dān)任。該所是國家重點支持的北方微電子研究開發(fā)基地的主要組成單位，是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地，1988年被定為全國微電子學(xué)領(lǐng)域第一個重點學(xué)科點。
【硬件環(huán)境】兩條集成電路工藝加工線
清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級集成電路工藝線，具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備，主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項目流片。另外還有一條集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗線，主要進行各類新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開發(fā)，并且可以提供MOSMPW(MOS多項目晶圓)服務(wù)。
【師資科研】器件和設(shè)計實力強
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計和CAD四個研究方向。在這四個研究領(lǐng)域中，該所器件和設(shè)計實力強，研究資金豐厚。
器件方向，主要強在理論，其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理，其特點在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級器件設(shè)計與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面，器件組是國內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達的科研單位。
工藝方向，包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)模混合工藝等等。其中的集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗線由劉志弘教授任主任，該組的主要研究方向是：深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲技術(shù)、POWER器件及集成電路，以及集成電路生產(chǎn)自動化控制等。
設(shè)計方向更偏向于工程。在各大高校中，清華的電路設(shè)計是一流的，與各大公司、研究所以及國內(nèi)外foundry都有較多的合作，研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)(原大唐總裁魏少軍在這個方向為北大清華的研究生開有任選課)、IC測試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統(tǒng)設(shè)計研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo)，研究領(lǐng)域為集成電路與系統(tǒng)設(shè)計方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計、通訊集成電路設(shè)計和高速實時信號處理。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授，該組的主要研究方向有：極小尺寸MOS器件輸運機理研究、納米級量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級器件的CAD軟件研究、微/納米級新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫方法學(xué)研究和用于SOC存儲器類的IP核開發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計的電路提取和驗證，以及集成電路制造的計算機輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
清華研究生微電子所難考的原因，在于他接收的考試生比較少(2007年僅招10人)，而保送生為30～40人。清華大學(xué)在深圳也設(shè)有研究生院，但是一般只培養(yǎng)工程碩士(專業(yè)碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。
清華大學(xué)微電子學(xué)研究所成立于1980年9月，第一任所長由全國半導(dǎo)體物理學(xué)家、中科院院士李志堅擔(dān)任。該所是國家重點支持的北方微電子研究開發(fā)基地的主要組成單位，是高素質(zhì)微納電子科技人才的培養(yǎng)基地，1988年被定為全國微電子學(xué)領(lǐng)域第一個重點學(xué)科點。
【硬件環(huán)境】兩條集成電路工藝加工線
清華大學(xué)微米/納米技術(shù)研究中心擁有一條4英寸1微米級集成電路工藝線，具有完備的MEMS加工技術(shù)與設(shè)備，主要用于加工與MEMS器件相關(guān)的項目流片。另外還有一條集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗線，主要進行各類新型SiGe微波功率半導(dǎo)體器件與集成電路以及其他特殊用途的硅集成電路的研究開發(fā)，并且可以提供MOSMPW(MOS多項目晶圓)服務(wù)。
【師資科研】器件和設(shè)計實力強
清華大學(xué)微電子所主要分器件、工藝、設(shè)計和CAD四個研究方向。在這四個研究領(lǐng)域中，該所器件和設(shè)計實力強，研究資金豐厚。
器件方向，主要強在理論，其研究方向包括新器件結(jié)構(gòu)與模型、新材料與工藝、新概念與原理，其特點在于新材料和新器件方向結(jié)合、LIGA技術(shù)與傳統(tǒng)IC方向結(jié)合、微納米級器件設(shè)計與小尺寸器件模型建立相結(jié)合。微納器件與系統(tǒng)研究室目前由任天令教授主管，研究方向包括MEMS、新型半導(dǎo)體存儲技術(shù)、納電子與自旋電子學(xué)和微納電子技術(shù)新材料等。在MEMS研究方面，器件組是國內(nèi)惟一重復(fù)出當(dāng)年的靜電微馬達的科研單位。
工藝方向，包括了研究傳統(tǒng)的CMOS工藝技術(shù)以及一些新型的工藝技術(shù)如數(shù)模混合工藝等等。其中的集成電路開發(fā)與工業(yè)性試驗線由劉志弘教授任主任，該組的主要研究方向是：深亞微米集成電路制造、SiGe技術(shù)、非揮發(fā)性存儲技術(shù)、POWER器件及集成電路，以及集成電路生產(chǎn)自動化控制等。
設(shè)計方向更偏向于工程。在各大高校中，清華的電路設(shè)計是一流的，與各大公司、研究所以及國內(nèi)外foundry都有較多的合作，研究課題涉及數(shù)字多媒體、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)及模糊電路、高層次綜合技術(shù)(原大唐總裁魏少軍在這個方向為北大清華的研究生開有任選課)、IC測試、多媒體VLSI、加密電路及CPU等等。集成電路與系統(tǒng)設(shè)計研究室由王志華教授領(lǐng)導(dǎo)，研究領(lǐng)域為集成電路與系統(tǒng)設(shè)計方法學(xué)、模擬和射頻集成電路設(shè)計、通訊集成電路設(shè)計和高速實時信號處理。
CAD技術(shù)研究室的主任為王燕教授，該組的主要研究方向有：極小尺寸MOS器件輸運機理研究、納米級量子、電子器件結(jié)構(gòu)和理論分析、微/納米級器件的CAD軟件研究、微/納米級新結(jié)構(gòu)器件研究、建庫方法學(xué)研究和用于SOC存儲器類的IP核開發(fā)、射頻(RF)電路版圖設(shè)計的電路提取和驗證，以及集成電路制造的計算機輔助管理系統(tǒng)(IC-CAM系統(tǒng))研發(fā)等。
【招生信息】
清華研究生微電子所難考的原因，在于他接收的考試生比較少(2007年僅招10人)，而保送生為30～40人。清華大學(xué)在深圳也設(shè)有研究生院，但是一般只培養(yǎng)工程碩士(專業(yè)碩士的一種)。微電子所2007年在北京、深圳兩地招收工程碩士人數(shù)總共為74名。