在大陸法系的一些國家移植美國模式并不成功后，一些國家在揚棄以前的議會監(jiān)督模式的經(jīng)驗，總結(jié)移植美國模式失敗的教訓的基礎上，創(chuàng)立了專門機構(gòu)型憲法監(jiān)督模式。
奧地利在1920年建立憲法法院，在世界諸國中率先確立專門機構(gòu)監(jiān)督模式，其又被稱作凱爾森模式、歐洲模式。該種模式建立之后，世界各國尤其是歐洲國家紛紛仿效，原來引進美國模式的一些國家也改換門庭實行這一模式。有學者統(tǒng)計由特設的專門機關行使違憲審查權和監(jiān)督憲法實施的國家大約有40個。
專門機構(gòu)監(jiān)督模式具體可分為兩種形式，即以德國為代表的憲法法院制和以法國為代表的憲法委員會制度。
（1）德國憲法法院的設立也經(jīng)過了很長一段歷程。在19世紀，德國主要實行的是受英國影響的議會監(jiān)督模式。在1919至1933年的魏瑪共和國時期，魏瑪憲法規(guī)定了在國家層次設立訴訟法院，主理涉及聯(lián)邦制國家的憲法沖突問題，但這并不是一個完全意義上的憲法法院，并且對納粹黨的上臺起到了負面作用。在1949年德國憲法設立的聯(lián)邦憲法法院是德國憲法的一個質(zhì)的飛躍，是1849年以來德國憲法監(jiān)督制度百年探索以后取得的積極成果。
德國憲法法院受理涉及憲法性問題的具體爭議案件，有權根據(jù)憲法作出裁決，其任務是把憲法秩序作為法律秩序加以維護。各國憲法法院的法官不僅具備豐富的法律專業(yè)知識，而且大都擔任過議會或政府要員，具有相當?shù)膹恼?jīng)驗和政治素養(yǎng)，因此憲法法院通常享有較高的政治地位。它雖然也是司法機關，但完全獨立于立法、行政及普通司法機關之外，是與它們相平行的第四種權力。
德國的憲法法院模式優(yōu)點十分明顯，既能行使抽象審查權，又能受理憲法控訴，兼具了議會模式和普通法院模式的優(yōu)點，而且憲法法院自身享有很高的地位，其成員兼具法律和政治素養(yǎng)，能夠勝任憲法監(jiān)督職責，不過，這一模式也存在一些缺陷：第一，缺乏有效性。憲法法院法官數(shù)額有限，往往滿足不了大量憲法訴訟案件的審查要求；第二，缺乏準確性。憲法法院的政治性較強，法官裁決易受政黨及國家政策的影響，而且憲法法院一審終審制，易導致草率斷案；第三，缺乏合理性。由非民選機構(gòu)來審查民意代表機關制定的法律是否違憲，不符合權力分工原則和人民主權原則。 還有的學者認為憲法法院與普通法院界限較模糊，憲法訴訟與其它法律訴訟的劃分缺乏客觀的衡量標準，這增加了憲法監(jiān)督的復雜性，而且憲法法院為集中精力審查重大案件不得不把大量的申訴案件通過簡易程序退掉，因此，其作用有限。
（2）法國憲法委員會制度的形成也是根據(jù)其特定的國情而具有其獨特之處。法國設立專門的憲法監(jiān)督機構(gòu)始于第四共和國時期。1791年憲法即確立將憲法監(jiān)督權交給國民議會。其后的雅各賓專政又凸顯了人民主權的原則。在熱月黨人執(zhí)政期間，憲法將監(jiān)督權賦予元老院。其后憲法監(jiān)督權不斷變遷，直到1946年第四共和國設立憲法委員會。第五共和國稍作修改沿用至今。
法國實際實行的是憲法委員會與行政法院并行憲法監(jiān)督職能。行為違憲和大量一般規(guī)范性文件及行政法規(guī)和行政規(guī)章的合憲性問題主要由普通法院或行政法院進行審查裁決。 憲法委員會對法律是否違憲實行監(jiān)督，同時它還有兩個重要特權，即預先審議應予批準的在法蘭西共和國范圍內(nèi)簽定的條約和協(xié)議；對全民投票和共和國總統(tǒng)選舉實行監(jiān)督。法國憲法委員會由九名成員組成，總統(tǒng)、國民議員及參議員各任命三名，前總統(tǒng)為當然的終身議員，因而它具有濃厚的政治色彩，一般被視為專門的政治機關，但我國也有學者認為憲法委員會既不是純粹的政治機關，也不是純粹的司法機關，而是兼具政治性和司法性的機關；還有學者認為它是一種準司法性質(zhì)的機關。
法國憲法委員會監(jiān)督模式的優(yōu)點在于政治地位高，權力較大能有效制止違憲法律的頒布和實施，能及時解決國家的重大政治問題。但是其缺點也很明顯：其一，憲法委員會的審查對象主要是議會制定的各種法律和規(guī)則，而政府制定的大量條例、命令卻不在審查之列；其二，提出審查請求的主體范圍過窄。
建立專門機構(gòu)來監(jiān)督憲法實施成為世界憲法監(jiān)督制度的發(fā)展潮流，這一模式之所以盛行，主要是由于以往在本國現(xiàn)實生活中普遍存在著踐踏憲法、侵犯人權的現(xiàn)象，為了使憲法處處得到尊重與實施，有必要建立一個獨立于立法、司法、行政之外的機構(gòu)，專司憲法監(jiān)督之責，同時，也與議會模式、普通法院模式過去在歐陸國家中失敗的教訓有著密切的聯(lián)系，采用這一模式的主要是西歐、東歐及韓國、土耳其等少數(shù)亞洲國家。
專門機構(gòu)憲法監(jiān)督模式比較適合大陸法系國家的政治體制和法律文化傳統(tǒng)。為了使其更加科學化，可以采取以下措施：首先，在單一制國家，如韓國，可以考慮在省級地方設立憲法法院的下屬機構(gòu)，以減輕憲法法院的壓力；在聯(lián)邦制國家，如德國，可以考慮改變聯(lián)邦憲法法院與州憲法法院互不統(tǒng)屬的關系，以增強憲法監(jiān)督的準確性。此外，聯(lián)邦法院可以適當下放一些權力，并適度放寬簡易程序的審查標準；其次，憲法委員會可適當采取附帶違憲審查與憲法訴愿的審查方式。