1895年德國科學家倫琴發(fā)現(xiàn)了 X射線。1923年海維賽提出廠X射線熒光分析的原理。當將試樣放在原級x射線的通路上，試樣中各種元素的原子被原級x射線照射后，分別發(fā)出各自的特征X射線。這種由原級X射線激發(fā)出的次級X射線，又叫熒光X射線。熒光X射線的波長只取決于物質中原子的種類。根據(jù)熒光X射線的波長，即可確定物質的元素構成；根據(jù)該波長的熒光X射線的強度，即可定量測定所屬元素的含量。這種利用熒光X射線進行分析的方沾稱為X射線熒光分析。
隨著X射線測量技術的發(fā)展和大功率穩(wěn)定的X射線發(fā)生裝置的研制成功，X射線熒光分析技術在20世紀初開始迅速發(fā)展，目前已達到先進水平，被廣泛應用于合金、礦石、玻璃、陶瓷、水泥、塑料、石油等材料的成分分析。
x射線熒光分析具有下述特點：
(1)分析元素種類多。除少數(shù)幾種輕元素外，元素周期表中幾乎所有的元素均能使川X射線熒光分析進行測定。
(2)分析的元素濃度范圍廣。從常量組分到痕量雜質都能分析。
(3)可分析各種形態(tài)的試樣，如固體、粉末、液體以至氣體試樣，且分析試樣可不被破壞。
(4)分析速度快。特別是多道分析儀可在幾分鐘內同時測定最多28種元素的含量。
(5)譜線干擾少，結果準確。
(6)與計算機聯(lián)用可實現(xiàn)自動分析。在生產上的在線分析中應用日益廣泛，特別是在現(xiàn)代化水泥廠中的應川取得廠顯著的效果。
隨著X射線測量技術的發(fā)展和大功率穩(wěn)定的X射線發(fā)生裝置的研制成功，X射線熒光分析技術在20世紀初開始迅速發(fā)展，目前已達到先進水平，被廣泛應用于合金、礦石、玻璃、陶瓷、水泥、塑料、石油等材料的成分分析。
x射線熒光分析具有下述特點：
(1)分析元素種類多。除少數(shù)幾種輕元素外，元素周期表中幾乎所有的元素均能使川X射線熒光分析進行測定。
(2)分析的元素濃度范圍廣。從常量組分到痕量雜質都能分析。
(3)可分析各種形態(tài)的試樣，如固體、粉末、液體以至氣體試樣，且分析試樣可不被破壞。
(4)分析速度快。特別是多道分析儀可在幾分鐘內同時測定最多28種元素的含量。
(5)譜線干擾少，結果準確。
(6)與計算機聯(lián)用可實現(xiàn)自動分析。在生產上的在線分析中應用日益廣泛，特別是在現(xiàn)代化水泥廠中的應川取得廠顯著的效果。