1、物質(zhì)的危險(xiǎn)危害
芯片生產(chǎn)過(guò)程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫(kù)，化學(xué)品種類達(dá)80種。按照GB13690-92《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對(duì)常用危險(xiǎn)化學(xué)品，按其主要危險(xiǎn)特性進(jìn)行分類，該項(xiàng)目中使用的危險(xiǎn)化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險(xiǎn)危害為：
1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。
3）氧化劑（如過(guò)氧化氫等）如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。
4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。
這些危險(xiǎn)有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險(xiǎn)品的貯存、使用的危險(xiǎn)性分析詳見(jiàn)化學(xué)品庫(kù)單元.
2、設(shè)備設(shè)施的固有危險(xiǎn)危害
生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房?jī)?nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機(jī)動(dòng)車(chē)輛；儲(chǔ)存設(shè)備有儲(chǔ)氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險(xiǎn)因素有：
1）火災(zāi)爆炸
油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)。
鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達(dá)到爆炸極遇點(diǎn)火源可引發(fā)爆炸危險(xiǎn)。
2）物理爆炸
鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲(chǔ)氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng)，可引發(fā)物理爆炸。
3）觸電危險(xiǎn)
變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運(yùn)行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計(jì)、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險(xiǎn)。如出現(xiàn)短路、過(guò)載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險(xiǎn)。
4）靜電危害
如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時(shí)消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。
5）高空墜落危險(xiǎn)
凡2m以上各類高空作業(yè)點(diǎn)位，其梯、臺(tái)、道、護(hù)欄等常規(guī)性防護(hù)措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險(xiǎn)。
6）車(chē)輛傷害
廠內(nèi)各類運(yùn)輸車(chē)輛如車(chē)輛本身缺陷，或制動(dòng)、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車(chē)輛傷害。
7）機(jī)械傷害
空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動(dòng)設(shè)備如無(wú)防護(hù)罩或損壞，可引發(fā)機(jī)械傷害。
8）灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會(huì)造成眼灼傷。
9）噪聲危險(xiǎn)
空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可產(chǎn)生噪聲危害。
生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元
支援車(chē)間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：
危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表 表5.2.1-3
序號(hào) 儲(chǔ)存場(chǎng)所名稱 儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量（個(gè)） 安全設(shè)施
1毒性氣
體室 砷化氫混合氣（AsH3/H2） 1 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測(cè)器，介質(zhì)泄漏時(shí)，報(bào)警。
1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2） 1
1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2） 1
5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2） 2
2易燃?xì)怏w室 氨氣（NH3） 8 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開(kāi)）、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
一氧化碳（CO） 3
二氯硅烷（SiH2Cl2） 1
二氟甲烷（CH2F2） 1
50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 1
氟甲烷（CH3F） 2
100ppmB2H6/N2 1
5% B2H6/N2 2
100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 2
10%氨氣/氮?dú)?1
C4F6 1
3腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3無(wú))、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
ClF3 2
HBr 2
HCl 11
SiF4 1
4氧化氣體室 NF3 9 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
N2O 7
30%O2/He 6
5 惰性氣體室 1.2%He+N2 1 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
C4F8 2
CHF3 1
C2F6 1
CO2 1
CF4 2
CHF3 2
SF6 2
He 1
4%H2/N2 1
6 酸室 HCl CDM 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置。
BOE CDM 1
HF CDM 2
NOE CDM 1
芯片生產(chǎn)過(guò)程中，使用多種化學(xué)物品，廠區(qū)內(nèi)設(shè)有儲(chǔ)存這些化學(xué)物品的化學(xué)品庫(kù)，化學(xué)品種類達(dá)80種。按照GB13690-92《常用危險(xiǎn)化學(xué)品的分類及標(biāo)志》規(guī)定中對(duì)常用危險(xiǎn)化學(xué)品，按其主要危險(xiǎn)特性進(jìn)行分類，該項(xiàng)目中使用的危險(xiǎn)化學(xué)品有壓縮氣體和液化氣體，易燃液體、氧化劑、有毒品、腐蝕品等類別，這些物質(zhì)的主要危險(xiǎn)危害為：
1）有毒有害氣體（如AsH3、PH3、SiH4、CO等）如泄漏與空氣混合遇明火易燃爆，有的可在空氣中自燃，有的可致人中毒、凍傷、窒息、直至死亡。
2）易燃液體（如丙酮、異丙醇等）如泄漏、揮發(fā)與空氣混合形成爆炸氣體遇明火、熱源可引發(fā)火災(zāi)爆炸。
3）氧化劑（如過(guò)氧化氫等）如泄漏與有機(jī)物還原劑、易燃物接觸可引起火災(zāi)爆炸。
4）腐蝕品（如酸類、堿類等）如泄漏與人體接觸可引起化學(xué)灼傷。
這些危險(xiǎn)有害因素的主要物質(zhì)理化特性，以及化學(xué)危險(xiǎn)品的貯存、使用的危險(xiǎn)性分析詳見(jiàn)化學(xué)品庫(kù)單元.
2、設(shè)備設(shè)施的固有危險(xiǎn)危害
生產(chǎn)設(shè)備多，且特種設(shè)備的種類、數(shù)量多。電氣設(shè)備有110kV和10kV變配電站的變壓器、配電柜、以及各廠房?jī)?nèi)用電設(shè)備及控制系統(tǒng)；特種設(shè)備有燃?xì)忮仩t、空壓設(shè)備、冷凍設(shè)備、壓力容器及多種氣瓶和廠內(nèi)機(jī)動(dòng)車(chē)輛；儲(chǔ)存設(shè)備有儲(chǔ)氣罐、液氮罐、液氬罐、貯油設(shè)備、硫酸罐、氫氧化鈉罐等。其主要危險(xiǎn)因素有：
1）火災(zāi)爆炸
油罐如本身缺陷或安全裝置失效或管理不善出現(xiàn)泄漏，遇明火可引發(fā)火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)。
鍋爐使用燃料是天然氣，天然氣為易燃易爆氣體，一旦出現(xiàn)泄漏遇明火可引發(fā)火災(zāi)。當(dāng)天然氣與空氣混合的濃度達(dá)到爆炸極遇點(diǎn)火源可引發(fā)爆炸危險(xiǎn)。
2）物理爆炸
鍋爐、壓力容器（蒸發(fā)器、冷凝器、儲(chǔ)氣罐）設(shè)備、氣瓶等，如設(shè)備有缺陷或超壓安全附件失效或使用不當(dāng)，可引發(fā)物理爆炸。
3）觸電危險(xiǎn)
變配電設(shè)備、電氣線路、用電設(shè)備如產(chǎn)品質(zhì)量不佳、絕緣性能不良或因運(yùn)行不當(dāng)、機(jī)械損傷、維修不善導(dǎo)致絕緣老化破損或設(shè)計(jì)、安裝不規(guī)范，安全凈距不足，或違章操作，均可能引發(fā)觸電危險(xiǎn)。如出現(xiàn)短路、過(guò)載、接觸不良等，也可引發(fā)電氣火災(zāi)危險(xiǎn)。
4）靜電危害
如火災(zāi)、爆炸危險(xiǎn)環(huán)境內(nèi)設(shè)備、管路防靜電設(shè)計(jì)或施工不規(guī)范，或在使用、輸送、貯存易燃易爆物質(zhì)時(shí)所產(chǎn)生的靜電電荷不能及時(shí)消除，或使用有火花工具、穿用不防靜電的鞋、服裝而產(chǎn)生靜電火花，均可能引燃易燃易爆物質(zhì)，造成火災(zāi)、爆炸。
5）高空墜落危險(xiǎn)
凡2m以上各類高空作業(yè)點(diǎn)位，其梯、臺(tái)、道、護(hù)欄等常規(guī)性防護(hù)措施不符合規(guī)范要求或損壞，可引發(fā)高空墜落危險(xiǎn)。
6）車(chē)輛傷害
廠內(nèi)各類運(yùn)輸車(chē)輛如車(chē)輛本身缺陷，或制動(dòng)、音響、燈光等失效，道路狀況不符合規(guī)定要求或誤操作可引發(fā)車(chē)輛傷害。
7）機(jī)械傷害
空壓站、冷凍站、水泵房、鍋爐房的旋轉(zhuǎn)、傳動(dòng)設(shè)備如無(wú)防護(hù)罩或損壞，可引發(fā)機(jī)械傷害。
8）灼傷
高溫設(shè)備、蒸氣管路等表面，保溫、隔熱效果不好，易形成燙傷事故。各類使用激光源、紅外線光源的設(shè)備、機(jī)臺(tái)上，如因光源密閉性不好或損壞或操作不當(dāng)，致使光源直射觀察者眼睛，將會(huì)造成眼灼傷。
9）噪聲危險(xiǎn)
空壓設(shè)備、泵類、風(fēng)機(jī)等設(shè)備在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)可產(chǎn)生噪聲危害。
生產(chǎn)工藝及危險(xiǎn)化學(xué)品使用安全評(píng)價(jià)單元
支援車(chē)間危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存、安全措施情況如表5.2.1-3所示：
危險(xiǎn)化學(xué)品使用、儲(chǔ)存及安全措施表 表5.2.1-3
序號(hào) 儲(chǔ)存場(chǎng)所名稱 儲(chǔ)存危險(xiǎn)化學(xué)品名稱 氣柜數(shù)量（個(gè)） 安全設(shè)施
1毒性氣
體室 砷化氫混合氣（AsH3/H2） 1 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜、雙套管輸送，內(nèi)套管為真空，設(shè)偵測(cè)器，介質(zhì)泄漏時(shí)，報(bào)警。
1.5%鍺烷/氫氣（GeH4/H2） 1
1%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2） 1
5%磷化氫/氮?dú)饣旌蠚猓≒H3/N2） 2
2易燃?xì)怏w室 氨氣（NH3） 8 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、氨、氟環(huán)境監(jiān)測(cè)報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)（酸堿性排風(fēng)系統(tǒng)分開(kāi)）、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
一氧化碳（CO） 3
二氯硅烷（SiH2Cl2） 1
二氟甲烷（CH2F2） 1
50ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 1
氟甲烷（CH3F） 2
100ppmB2H6/N2 1
5% B2H6/N2 2
100ppm乙硼烷/氫氣（B2H6/H2） 2
10%氨氣/氮?dú)?1
C4F6 1
3腐蝕性氣體室 Cl2 2 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋(ClF3無(wú))、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
ClF3 2
HBr 2
HCl 11
SiF4 1
4氧化氣體室 NF3 9 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾?、TGM報(bào)警、消防水噴淋、酸性排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
N2O 7
30%O2/He 6
5 惰性氣體室 1.2%He+N2 1 10%氦氣/氮?dú)夤に嚧祾摺GM報(bào)警、消防水噴淋、排風(fēng)、火災(zāi)聲光報(bào)警、shut down 按鈕、勞動(dòng)防護(hù)用品專柜。
C4F8 2
CHF3 1
C2F6 1
CO2 1
CF4 2
CHF3 2
SF6 2
He 1
4%H2/N2 1
6 酸室 HCl CDM 1 設(shè)排風(fēng)系統(tǒng)、收集井、吸收棉、雙套管輸送、內(nèi)設(shè)泄漏報(bào)警偵測(cè)器、PEH在線型火災(zāi)聲光報(bào)警裝置，自動(dòng)水噴淋裝置。
BOE CDM 1
HF CDM 2
NOE CDM 1