5.2.4危險源綜合分析與評價
1、單元的主要危險因素
SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產工藝復雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ16-87“生產的火災危險性分類”為甲類，因此火災、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。
2、已采取的主要安全技術、管理措施
針對上述危險有害因素，為了確保生產工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取的安全技術措施主要有：
1)潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結構、耐火等級符合國家相關規(guī)范要求;
2)潔凈室在產生有害氣體工作區(qū)設置局部排風，同時設置火災自動報警裝置、火災排煙系統(tǒng)及應急照明;
3)將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設置在獨立的房間內，硅烷單獨設置在獨立的建筑物內;
4)所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內配備自動的氮氣凈化系統(tǒng)。
5)有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設備和有毒氣體排放口設監(jiān)測點，所有探頭具有高敏度報警功能;
6)酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸送至使用點，在雙層管道內設監(jiān)測報警探頭，所有化學品盛裝容器、使用點均設置局部排風系統(tǒng);
7)在危險化學品生產、儲存場所設置洗眼器及安全淋浴裝置;
8)本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設置基本符合國家標準要求。
3、問題與建議
為了保證系統(tǒng)能夠安全運行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠實現安全生產。通過對作業(yè)現場安全現狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下：
1) 因潔凈室生產廠房、易燃氣體室未設置泄壓設施，并且未按SJ30002-92標準設置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風系統(tǒng)等安全裝置、設施的齊備、完好及有效性。
2) 廢液收集罐上的平臺護欄需按標準要求修復;
3) 應按GB7231-87相關要求對工業(yè)管路涂敷基本識別色。
5.2.5驗收評價結論
SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產工藝單元主要危險因素是各類可燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災、爆炸、中毒。潔凈生產車間、支援車間設計、施工以及各類危險化學品安全使用、儲存情況基本符合標準、規(guī)范和安全生產要求;項目本質安全程度較高，各項安全裝置基本齊全、有效。只要在生產過程中嚴格執(zhí)行各項安全生產管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現安全生產。
1、單元的主要危險因素
SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產工藝復雜，同時使用多種易燃、易爆、有毒化學試劑和易燃、有毒氣體，按照GBJ16-87“生產的火災危險性分類”為甲類，因此火災、爆炸、中毒是本單元的主要危險因素，其次是腐蝕灼傷、物理爆炸、高頻噪聲傷害、靜電危害等。
2、已采取的主要安全技術、管理措施
針對上述危險有害因素，為了確保生產工藝及支援車間的安全運行，企業(yè)已采取的安全技術措施主要有：
1)潔凈廠房、各類溶劑室、氣體室等建筑結構、耐火等級符合國家相關規(guī)范要求;
2)潔凈室在產生有害氣體工作區(qū)設置局部排風，同時設置火災自動報警裝置、火災排煙系統(tǒng)及應急照明;
3)將腐蝕性、易燃、有毒、惰性氣體分別設置在獨立的房間內，硅烷單獨設置在獨立的建筑物內;
4)所有易燃、有毒、腐蝕性氣體盛裝鋼瓶均安裝在特制的氣柜內，氣柜帶有閥門盒和閥門屏，氣柜內配備自動的氮氣凈化系統(tǒng)。
5)有害氣體在氣柜、閥門盒、工藝設備和有毒氣體排放口設監(jiān)測點，所有探頭具有高敏度報警功能;
6)酸、堿、有機溶劑采用高純氮氣充填容器，利用雙層管道輸送至使用點，在雙層管道內設監(jiān)測報警探頭，所有化學品盛裝容器、使用點均設置局部排風系統(tǒng);
7)在危險化學品生產、儲存場所設置洗眼器及安全淋浴裝置;
8)本單元消防、報警、聯(lián)鎖裝置的設置基本符合國家標準要求。
3、問題與建議
為了保證系統(tǒng)能夠安全運行，廠方采取了一些安全措施，基本能夠實現安全生產。通過對作業(yè)現場安全現狀考察與分析，還存在一些不符合規(guī)定的安全問題，具體問題和建議如下：
1) 因潔凈室生產廠房、易燃氣體室未設置泄壓設施，并且未按SJ30002-92標準設置在多層廠房頂層，因此需采取有效措施，保障各類防火、防爆、排風系統(tǒng)等安全裝置、設施的齊備、完好及有效性。
2) 廢液收集罐上的平臺護欄需按標準要求修復;
3) 應按GB7231-87相關要求對工業(yè)管路涂敷基本識別色。
5.2.5驗收評價結論
SMIC中芯國際集成電路制造有限公司集成電路生產工藝單元主要危險因素是各類可燃氣體、易燃液體以及有毒物料泄漏引發(fā)火災、爆炸、中毒。潔凈生產車間、支援車間設計、施工以及各類危險化學品安全使用、儲存情況基本符合標準、規(guī)范和安全生產要求;項目本質安全程度較高，各項安全裝置基本齊全、有效。只要在生產過程中嚴格執(zhí)行各項安全生產管理制度和安全操作規(guī)程，可以實現安全生產。