氮化物襯底材料的研究與開發(fā)

字號:

寬帶隙的GaN基半導(dǎo)體在短波長發(fā)光二極管、激光器和紫外探測器,以及高溫微電子器件方面顯示出廣闊的應(yīng)用前景;對環(huán)保,其還是很適合于環(huán)保的材料體系。半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展分類所示的若干主要階段,其每個階段均能形成富有特色的產(chǎn)業(yè)鏈。世界各國現(xiàn)在又投入了大量的人力、財力和物力,以期望取得GaN基高功率器件的突破,并且居于此領(lǐng)域的制高點。“氮化物襯底材料與半導(dǎo)體照明的應(yīng)用前景”文稿介紹了氮化物襯底材料與半導(dǎo)體照明的應(yīng)用前景的部分內(nèi)容。
    GaN、AlN、InN及其合金等材,是作為新材料的GaN系材料。對襯底材料進行評價要就襯底材料綜合考慮其因素,尋找到更加合適的襯底是發(fā)展GaN基技術(shù)的重要目標。評價襯底材料要綜合考慮襯底與外延膜的晶格匹配、襯底與外延膜的熱膨脹系數(shù)匹配、襯底與外延膜的化學(xué)穩(wěn)定性匹配、材料制備的難易程度及成本的高低的因素。InN的外延襯底材料就現(xiàn)在來講有廣泛應(yīng)用的。自支撐同質(zhì)外延襯底的研制對發(fā)展自主知識產(chǎn)權(quán)的氮化物半導(dǎo)體激光器、大功率高亮度半導(dǎo)體照明用LED,以及高功率微波器件等是很重要的。“氮化物襯底材料的評價因素及研究與開發(fā)”文稿介紹了氮化物襯底材料的評價因素及研究與開發(fā)的部分內(nèi)容。
    氮化物襯底材料與半導(dǎo)體照明的應(yīng)用前景GaN是直接帶隙的材料,其光躍遷幾率比間接帶隙的高一個數(shù)量級。因此,寬帶隙的GaN基半導(dǎo)體在短波長發(fā)光二極管、激光器和紫外探測器,以及高溫微電子器件方面顯示出廣闊的應(yīng)用前景;對環(huán)保,其還是很適合于環(huán)保的材料體系。
    1994年,日本的Nicha公司在GaN/Al2O3上取得突破,1995年,GaN器件第一次實現(xiàn)商品化。1998年,GaN基發(fā)光二極管LED市場規(guī)模為US$5.0億,2000年,市場規(guī)模擴大至US$13億。據(jù)權(quán)威專家的預(yù)計,GaN基LED及其所用的Al2O3襯底在國際市場上的市場成長期將達到50年之久。GaN基LED及其所用的Al2O3襯底具有獨特的優(yōu)異物化性能,并且具有長久耐用性。預(yù)計,2005年GaN基器件的市場規(guī)模將擴大至US$30億,GaN基器件所用的Al2O3襯底的市場規(guī)模將擴大至US$5億。
    半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展分類所示的若干主要階段,其每個階段均能形成富有特色的產(chǎn)業(yè)鏈:
    (1)第一階段第一階段(特種照明時代,2005年之前),其中有:儀器儀表指示;金色顯示、室內(nèi)外廣告;交通燈、信號燈、標致燈、汽車燈;室內(nèi)長明燈、吊頂燈、變色燈、草坪燈;城市景觀美化的建筑輪廓燈、橋梁、高速公路、隧道導(dǎo)引路燈,等等。
    (2)第二階段第二階段(照明時代,2005~2010年),其中有:CD、DVD、 H-DVD光存儲;激光金色顯示;娛樂、條型碼、打印、圖像記錄;醫(yī)用激光;開拓固定照明新領(lǐng)域,衍生出新的照明產(chǎn)業(yè),為通用照明應(yīng)用打下基礎(chǔ),等等。
    (3)第三階段第三階段(通用照明時代,2010年之后),包括以上二個階段的應(yīng)用,并且還全面進入通用照明市場,占有30~50%的市場份額。
    到達目前為止(處于第一階段,特種照明時代),已紛紛將中、低功率藍色發(fā)光二極管(LED)、綠色LED、白光LED、藍紫色LED等實現(xiàn)了量產(chǎn),走向了商業(yè)市場。高功率藍色發(fā)光二極管(LED)、激光二極管(LD)和全波段InN-GaN等,將會引發(fā)新的、  更加大的商機,例如,光存儲、光通訊等。實現(xiàn)高功率藍色發(fā)光二極管(LED)、激光二極管(LD)和全波段InN-GaN實用化,并且達到其商品化,這需要合適的襯底材料。因此,GaN材料及器件發(fā)展,需要尋找到與GaN匹配的襯底材料,進一步提高外延膜的質(zhì)量。
    另外,就基礎(chǔ)研究和中長期計劃考慮,科技發(fā)展越來越需要把不同體系的材料結(jié)合到一起,即稱之為異質(zhì)結(jié)材料。應(yīng)用協(xié)變襯底可以將晶格和熱失配的缺陷局限在襯底上,并且為開辟新的材料體系打下基礎(chǔ)。已提出了多種協(xié)變襯底的制備技術(shù),例如,自支撐襯底、鍵合和扭曲鍵合、重位晶格過渡層,以及SOI和VTE襯底技術(shù)等。預(yù)計,在今后的10~20年中,大尺寸的、協(xié)變襯底的制備技術(shù)將獲得突破,并且廣泛應(yīng)用于大失配異質(zhì)結(jié)材料生長及其相聯(lián)系的光電子器件制造。
    世界各國現(xiàn)在又投入了大量的人力、財力和物力,并且以期望取得GaN基高功率器件的突破,居于此領(lǐng)域的制高點。氮化物襯底材料的評價因素及研究與開發(fā)GaN、AlN、InN及其合金等材料,是作為新材料的GaN系材料。對襯底材料進行評價,要就襯底材料綜合考慮其因素,尋找到更加合適的襯底是作為發(fā)展GaN基技術(shù)的重要目標。